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冰箱內(nèi)膽氦檢漏設(shè)備量大從優(yōu)“本信息長期有效”
2021-06-18






氦質(zhì)譜檢漏儀的基本原理與結(jié)構(gòu)

隨著科技的迅猛發(fā)展,氦質(zhì)譜檢儀及其應(yīng)用技術(shù)也在不斷發(fā)展和究善。各國的設(shè)備廠商相繼推出了多種類烈的氦質(zhì)譜檢涮儀,廣泛應(yīng)用丁航空航天,電力電子,汽車等各個(gè)行業(yè),綜觀較新氦質(zhì)譜檢漏儀的性能特點(diǎn)發(fā)現(xiàn),氦質(zhì)譜檢漏儀正向著高靈敏度、自動(dòng)化、寬程、等先進(jìn)方向發(fā)展,這些特點(diǎn)很好地滿足了當(dāng)前檢漏應(yīng)用的需求,也極大的推動(dòng)了氮質(zhì)譜檢漏技術(shù)的不斷發(fā)展。檢漏儀給出的漏率值為測量漏率,需要通過換算公式計(jì)算出被檢產(chǎn)品的等效標(biāo)準(zhǔn)漏率。氦質(zhì)譜檢漏儀的基本原理與結(jié)構(gòu)氦質(zhì)譜檢漏儀一般由質(zhì)譜管,真空系統(tǒng)和電子系統(tǒng)組成。其中質(zhì)譜管包括離子源,質(zhì)量分析器和離子檢測器; 真空系統(tǒng)一般由分子泵、機(jī)械泵、電磁閥和真空計(jì)組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束,以一定能量注入質(zhì)分析器,

目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質(zhì)分析器的作用起將各類離子按其質(zhì)荷比的不同實(shí)現(xiàn)分離。

離子檢測器的作用是手機(jī)質(zhì)量分析器所選定的氦離子流并加以放大,再通過比對運(yùn)算,得出泄漏率

真空系統(tǒng)的作用是獲取質(zhì)譜過程所需的真空,同時(shí)完成被檢件的抽空和氦氣的引入。同時(shí),分析器出口電極及離子源加速極的隙縫也可以加大,使更多的氦離子通過,提高了儀器靈敏度。真空系統(tǒng)一般由分子泵、機(jī)械泵、電磁閥和真空計(jì)組成組成。按照真空系統(tǒng)的不同結(jié)構(gòu),檢漏儀分為常規(guī)系統(tǒng)和逆擴(kuò)散兩種。常規(guī)系統(tǒng)多用于早期的氦質(zhì)譜檢漏儀,該種檢漏儀的被檢件與高真空部分直接相通,由被檢件泄入的氮?dú)馐紫鹊竭_(dá)質(zhì)譜管被檢到,因而具有較高的靈敏度,但是會(huì)對質(zhì)譜管有污染。逆擴(kuò)散系統(tǒng)檢漏儀與常規(guī)系統(tǒng)相比,被檢件只與低真空相通,因此只需將被檢工件抽至低真空就能進(jìn)行檢漏,氦氣是逆擴(kuò)散到質(zhì)譜管,不會(huì)對系統(tǒng)有污染,因此被廣泛采用,已成為市場的主流的產(chǎn)品。

機(jī)械泵的工作方式不一樣,分為干泵檢漏儀和油泵檢漏儀,油泵工作會(huì)有油霧排出,污染工作環(huán)境,干泵沒有油霧排出對工作環(huán)境沒有影響。在半導(dǎo)體潔凈車間都是使用干泵檢漏儀。

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檢漏儀的優(yōu)點(diǎn)

1、多種語言和計(jì)量單位選擇,可選中文界面。

2、135o 電離偏轉(zhuǎn) (自然聚焦點(diǎn))的全新質(zhì)譜技術(shù),金屬密封結(jié)構(gòu)。

3、新的電子線路及信號(hào)處理設(shè)計(jì)。

4、小可檢漏率高、靈敏度覆蓋范圍可達(dá)12個(gè)量程。

5、快速清氦和快速響應(yīng)。

6、測試口耐壓高,可實(shí)現(xiàn)大漏檢漏。

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氦質(zhì)譜檢漏儀的特點(diǎn)

北京科儀創(chuàng)新真空技術(shù)有限公司(簡稱:科儀創(chuàng)新)出資成立,創(chuàng)建于2015年,注冊資金500萬。是國內(nèi)新興的一家專業(yè)從事真空領(lǐng)域的高新技術(shù)企業(yè)。

1.檢測時(shí)間和周期非常短,可以達(dá)到5s以內(nèi);

2.檢測的介質(zhì)比較常用,僅需壓縮空氣即可;

3.不會(huì)受到主觀因素判斷的影響;

4.檢測的數(shù)據(jù)精準(zhǔn);

5.自動(dòng)生成數(shù)據(jù)保存,可追溯數(shù)據(jù)來源。

今天和大家分享的是真空箱氦檢漏系統(tǒng)特征及優(yōu)點(diǎn),如果您想了解更多您可撥打圖片上的電話進(jìn)行咨詢!




真空箱法氦質(zhì)譜檢漏的原理與系統(tǒng)特點(diǎn)

真空箱法氦質(zhì)譜檢漏的充氣回收檢漏系統(tǒng)

1.配置與氣路控制

真空箱:一般為雙工位,兩個(gè)不銹鋼真空箱,開門裝置可采用液壓方式,或加配重的手動(dòng)方式。

工件抽空系統(tǒng):低真空泵及閥門,低真空測量充氮與回收系統(tǒng):氦氣儲(chǔ)存罐(高壓罐),氦氣回收取罐(低壓罐),主壓縮機(jī),輔壓縮機(jī),過濾器以及一些高壓閥和真空閥門等。

真空箱抽氣系統(tǒng):為自動(dòng)控制型,由面板、PLC系統(tǒng)(可編程邏輯控制器),充氦回收系統(tǒng),真空箱抽氣系統(tǒng)的電路部分以及為自動(dòng)檢漏過程提供參考信號(hào)的壓力傳感器和熱偶計(jì),同時(shí),實(shí)施對整個(gè)系統(tǒng)的工作控制,對檢漏過程和結(jié)果顯示。

2.系統(tǒng)檢測過程

1)、通過v1、V4,泵系統(tǒng)對工件和真空箱抽真空,如果限定的時(shí)間內(nèi)抽到限定的真空度,此時(shí),電氣控制系統(tǒng)關(guān)閉V1,打開V2

2)、充氦系統(tǒng)通過V2對工件進(jìn)行充氦至核定的壓力,穩(wěn)定,關(guān)閉V2

3)、關(guān)閉V4,打開V3、V5,處在正常工作狀態(tài)待命的氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)行檢漏,如果不漏,電氣控制系統(tǒng)指揮關(guān)斷V3、V5,打開V2對氦氣進(jìn)行回收。

4)、關(guān)閉V2打開V6對真空箱放氣,開啟真空箱更換工件。

5)、如果第三點(diǎn)檢漏儀檢測到超過設(shè)定值(漏率)的工件,檢漏儀聲光報(bào)警,將:工作內(nèi)的氦氣回收,對真空箱和管道巾的氦氣通過清潔泵抽除,免得影響檢漏儀的檢測效果和不污染檢漏儀。

6)、維持泵有一定的氦分流作用,不宜過大(不超過41),清潔泵也同樣。